20年 RFPT射頻電源維修 射頻匹配器維修 AX1K5

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射頻電源(RF generator)是用來產(chǎn)生射頻電功率的電源。 它的輸出一般是正弦波或脈沖，頻率有2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz等規(guī)格，輸出功率從幾十瓦到幾十千瓦，輸出阻抗一般是50歐。

在RF電路設(shè)計中，包括如何通過小化環(huán)路面積、遵循功率回流路徑原則、遠(yuǎn)離高增益放大器和使用星型拓?fù)鋪頊p少EMI。 同時強調(diào)了電源去耦技術(shù)和濾波電容的選擇對系統(tǒng)性能的關(guān)鍵作用。為了保護(hù)放大器，射頻電源采用了溫度傳感器、反射功率控制、快速反射功率控制、功耗控制、限流電路等設(shè)計方法，采用了沉積、蝕刻、清洗、Asher、大氣壓、濺射系統(tǒng)等固定方式。